低维半导体

载流子(电子或空穴)运动维数低于三维的半导体

低维半导体,载流子(电子或空穴)运动维数低于三维的半导体。

解释
载流子运动状态,在空间的一个方向上受到限制,只能在另外两个方向上运动时,称作二维材料;在两个方向上受到限制时,称作一维材料;如果在空间的三个方向均受到限制,这时载流子的运动状态就如同几何学中的零维点一样,称作零维材料。
这里所谓载流子的运动在某一方向上受到限制(约束),是指材料在这个方向上的特征尺度,与载流子的德布罗意波长相当。这时,载流子沿该空间方向是不能自由运动的,它的能量只可以是某些分立(不连续)的量值,即载流子的电子态呈量子化分布。这种效应称为量子尺寸效应。
此外,低维材料还具有其他一些因载流子运动维数减少所引起的量子效应。例如,当载流子的能量低于限制它的势垒能量时,按照量子力学理论,该载流子仍具有一定的概率穿透这个势垒,称为量子隧穿效应。量子隧穿的概率,不仅与势垒的高度和宽度有关,而且与载流子的有效质量有关。
当低维材料(包括电极)的电容足够小时,如在零维的量子点的情况下,会出现另一种量子现象:这时,若有一个电子进入量子点晶体中,能使系统增加的静电能远大于电子的热运动能量。于是,该静电能足以阻挡第二个电子,使它不能再进入该量子点晶体中,这种现象称为库仑阻塞效应。其他效应如量子干涉效应、量子斯塔克效应、非线性光学效应和多体效应等,也都表现得更明显。这些效应从更深层面反映出低维半导体材料所固有的特性,并成为现代固体量子器件的物理基础。半导体低维材料在未来纳米电子学、光电子学和光电子集成等领域有着极广阔的应用前景,是21世纪高新技术产业的重要支柱之一。
通常可以利用分子束外延(MBE)或金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术,在原子尺度上交替生长出不同带隙宽度的半导体薄层材料,以得到二维材料。例如将一薄层GaAs生长在较宽禁带的GaAlAs层中间,当GaAs厚度薄到大约10纳米时,就会与其电子的德布罗意波长相当。
这时,电子能级在材料的生长方向上就会出现量子化,这种二维材料称为量子阱材料。电子运动状态从通常的三维降到二维后,会具有许多独特的物理性质。例如在高纯的GaAs晶体(三维)中,其室温下的电子迁移在8×103~9×103厘米2/(伏·秒),低温下的峰值迁移率也为数十万厘米2/(伏·秒),而在二维材料中,其低温电子迁移率可达1.4×107厘米2/(伏·秒),提高了2个数量级。利用电子二维运动的特性,可以制备出性能十分优越的GaAs(或lnP)高电子迁移率晶体管(HEMT)、SiGe/Si异质结双极晶体管(HBT)、高亮度光发射二极管、大功率量子阱激光器、量子级联红外激光器和红外探测器等。
对于一维量子线材料的生长,如Ⅲ–V族化合物GaAs,通常可采用微细加工方法,先在GaAs(100)晶面上腐蚀出V形刻槽,然后利用MBE或MOCVD技术在其上交替生长出GaAs/AlAs。由于V形刻槽的侧壁与底面的晶体取向不同,使材料的生长速率也会不同(即选择生长)。因此,生长出的GaAs/AlAs材料在V形刻槽的轴向长度可达到几百纳米,而其横断面尺寸在数十纳米,形成一维量子线材料。
此外,利用高指数GaAs衬底[如(311)面],选择生长GaAs/AlAs薄层材料,也可以获得一维量子线材料。当生长的半导体晶体尺寸进一步小到数十纳米量级时,例如在GaAs基体中,利用应变自组装技术生长的InAs(或InGaAs)纳米晶体,这类材料就成为零维材料,或称为量子点材料。在量子点材料中,电子(或空穴)不再具有通常意义下的“运动”状态了。
它们之间的相互作用,完全遵从量子力学规律,其状态密度函数变成δ函数分布。这种材料有许多极其优异的性能,一个有代表性的应用实例就是用量子点材料做有源层的激光器——量子点激光器。
利用InGaAs/GaAs量子点材料制备的激光器,室温下连续波输出功率已达4.7瓦,准连续波输出功率达11.7瓦,在50℃热沉温度、1.0瓦和1.5瓦输出功率下,寿命超过3 000小时仍没有任何退化迹象,其灾变性光学镜面损伤功率密度达到19.5兆瓦/厘米2。这种量子点激光器,将在城域网和局域网的拉曼放大器和激光显示技术中有重要应用。
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