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低能电子显微术

显微探测技术

低能电子显微术是新发展起来的一种显微探测技术。它的特点是利用低能（1-30eV）电子的弹性背散射使表面实空间实时成像，具有高的横向（15nm）和纵向（原子级）分辩率，且易与低能电子衍射及其他电子显微术相结合。

简介
低能电子显微术是新发展起来的一种显微探测技术。它的特点是利用低能（1-30eV）电子的弹性背散射使表面实空间实时成像，具有高的横向（15nm）和纵向（原子级）分辩率，且易与低能电子衍射及其他电子显微术相结合。
应用
它已有效地应用于金属和半导体表面的形貌观测、表面相变、吸附、反应和生长过程的研究。
最新研究进展
入射电子在样品中的散射、二次电子的产生机制和低能电子逸出的能量阈值效应。在大能隙半导体或绝缘体中,低能电子的非弹性散射自由程显著大于金属,从而为纳米材料的表征提供了条件。综述了低能电子显微术(LEEM)、低能电子投影显微术、弹道电子发射显微术(BEEM)、光发射电子显微术(PEEM)等低能电子显微方法,介绍了这些方法得到的许多结果。
在材料研究中的应用
应用电子显微术———选区电子衍射和成像、高分辨电子成像和电子能量损失谱。
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