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声传感器

传感器

声传感器是指半无限大材料表面传播的表面声波,或压电薄板材料中的波等,由于受边界上力学、电学等边界条件的影响，传播特性也会发生改变，测出这些特性(主要是声速)的改变,即可检测出边界上力学参数例如微质量、应力、黏滞、温度等和电学参数(如介电常数)等的改变,这就是声传感器。

声传感器是指半无限大材料表面传播的表面声波,或压电薄板材料中的波等,由于受边界上力学、电学等边界条件的影响，传播特性也会发生改变，测出这些特性(主要是声速)的改变,即可检测出边界上力学参数例如微质量、应力、黏滞、温度等和电学参数(如介电常数)等的改变,这就是声传感器。它结合平面集成工艺制成的声传感器具有体积小、灵敏度高、造价低等优点，因而在物理、化学、环境监测、生化过程等的在线实时检测中具有
很好的应用前景。
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