平晶

测量高光洁表面平面度误差的仪器

平晶是一种具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。

简介

光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。常用的平晶有平面平晶、长平晶和平行平晶。

平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

长平晶主要用于以等倾干涉法检定研磨平尺的平面度。

平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差（图1b）。

用途

平面平晶是用于以干涉法测量块规，以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测量工具量面的研合性和平面度的常用工具。

适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用，也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。

规格

1、平面平晶 YDF-1 标准外形尺寸单位：mm

规格30 45 60 80 100 150 200 250

直径30 45 60 80 100 150 200 250

高度15 15 20 20 25 30 40 45 特殊规格尺寸平面平晶,环形平面平晶,方形平面平晶可定做.

2、平面平晶制成两种精度： 1级和 2级

3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为：

直径为 30至60mm 1级平晶 0.03μm

直径为 30至60mm 2级平晶 0.1 μm

直径为 80至150mm 1级平晶 0.05μm

直径为 80至150mm 2级平晶 0.1 μm

更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值，根据国家标准。

4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为： 0.03μm

5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。

测量方法

平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法（图2）,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)

λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距。

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