手动探针台

用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途的设备

手动探针台是用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途的。该设备为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等

1.什么是探针台

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

2探针台应用

手动探针台广泛应用于，科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段，批量不是很大的情况，大批量的重复测试推荐使用探卡。

主要功能：搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表，量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。

用途：以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能（如电流、电压、阻抗等）或工作状态，测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件（如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备（不属于本机器）对此测试、分析。

探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮，控制固定在针座上的探针杆做三向移动，移动范围12mm，移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上（说明探针是耗材，一般客户自己准备），探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上，从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件，多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。

3、工作环境

探针台应放在坚固稳定的台面上，如地基有震动的情况，需要配置主动防震装置，避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用最佳温度范围为5℃～40℃，最佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。

使用电源：220V，50Hz

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