湖北省等离子体化学与新材料重点实验室

湖北省境内组织机构

湖北省等离子体化学与新材料重点实验室成立于1998年，为湖北省教育厅、湖北省科技厅和武汉工程大学共建省级重点实验室。本实验室的主要研究方向为等离子体技术及其在材料中的应用。

实验室简介

在等离子体技术方面，主要进行多种等离子体装置的研制，包括微波等离子体化学气相沉积装置、微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积装置、射频等离子体化学气相沉积装置、常压等离子体化学气相沉积装置以及微波源的研制工作。

实验室规模

实验室建筑面积600余平方米，固定资产400余万元，拥有多种功率的微波等离子体化学气相沉积装置、微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积装置、热丝化学气相沉积装置、大功率微波烧结炉、等离子体刻蚀机、磁控溅射镀膜机、超音速氧喷枪、X射线衍射仪等。实验室现有固定研究人员14名，全部具有博士学位，其中教授10名，副教授3名，高级工程师1名。

实验室成就

实验室重视科研成果的开发，坚持走产学研结合的道路，近三年来共承担了国家计委产业化示范工程项目、国家 863纳米专项项目、国家自然科学基金、湖北省重大科技攻关专项项目、武汉市科技攻关项目等纵向项目20余项，横向项目10余项。

实验室研究方向

实验室以等离子体技术及其在材料中的应用作为其主要研究方向，密切等离子体技术和材料科学的交叉融合，根据本学科的发展趋势、学科前沿以及国民经济和社会发展需要，结合自身科研工作的积累和优势，选择本领域若干可能的突破点进行创新性研究和应用基础研究。主要研究内容如下：

（1）等离子体技术：主要开展微波等离子体技术、微波电子回旋共振等离子体技术、脉冲放电等离子体技术、直流电离子体技术以及射频等离子体技术的开发研究，结合等离子体诊断技术，围绕新材料的开发与处理进行等离子体的机理研究及相关装置的开发研究；

（2）微波与微波化学研究：主要开展固定频率高稳定度微波源的开发研制、微波萃取设备以及微波烧结炉的研制；

（3）材料制备与产业化研究：主要开展金刚石光学膜、热沉膜、超硬金刚石涂层刀具、金刚石厚膜焊接刀具、超硬碳氮涂层以及纳米碳管等新材料的制备与产业化研究，利用多种手段开展医用高分子材料、功能矿物材料的制备与应用研究；

（4）等离子体深亚微米刻蚀与表面改性研究：主要开展微波ECR等离子体对多晶硅、石英玻璃的深亚微米可是技术研究以及高聚物、纺织品及动物毛料的等离子体改性研究。

在等离子体技术应用方面，主要进行新材料的制备以及材料表面处理研究，其中以膜材料及纳米材料的制备为主，包括金刚石膜的制备，SiO2膜的制备、ZnO膜的制备以及纳米碳管的制备研究，同时进行了纳米材料等离子体改性、纺织品改性、高聚物改性以及等离子体刻蚀研究。

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