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热预算

工艺中硅曝露需要的热能

热预算，工艺中硅曝露需要的热能。半导体工艺的目标之一是尽量降低硅需要的热能。决定大多数硅基半导体工艺条件的一个因素是通过降温或者减少时间，使热预算最小化。

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