等离子体工作气
等离子体工作气(plasma gas)是指常规气体吸收高能量后,由分子成为原子,直至电离成电导率很高的准中性气体。等离子工作气中存在电子、离子和中性粒子。带电粒子是通过各种电离过程由气体自身产生的。电离过程可由高能辐射和粒子尉烈碰撞产生,其自由电荷的浓度取决于气体中所含能量。
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