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类金刚石膜

用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域

类金刚石（diamond-like carbon，DLC）具有比较高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率和良好的减摩特性等。这与金刚石相似，但是，除减摩性能优良外，其它性能均低于金刚石膜。类金刚石膜可广泛用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域，并且作为减摩耐磨涂层应用于航空航天、金属加工、医疗器件等众多领域。

简介
类金刚石碳（DLC）是非晶结构，碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式，从而使其最终产生不同的物质：金刚石（diamond）中碳碳以sp3键的形式结合；石墨（graphite）中碳碳以sp2键的形式结合；类金刚石（DLC）膜中，碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合，生成的无定形碳的一种亚稳定形态，可以包括很宽性质范围的非晶碳，因此兼具了金刚石和石墨的优良特性。
分类
类金刚石膜可分为无氢类金刚石碳膜(a-C)和含氢金刚石碳膜(a-C：H)。在含氢的DLC膜中存在一定数量的C-H键。含氢DLC又称为α-C:H，由于其具有良好的减摩耐磨作用，在摩擦副固体表面改性方面广泛应用。无氢类金刚石膜包括无氢非晶碳（α-C）和四面体非晶碳（tetrahedral carbon，简称ta-C）膜。α-C膜含有一些sp3键；ta-C膜中以sp3键为主（sp3>70%），其具有强度高的特点，其可用于半导体器件、计算机硬盘、摩擦副表面改性、零部件表面改性等。
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