纳米真空互联实验站

江苏省苏州市的实验站

纳米真空互联实验站是中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所按世界首个国家重大科技基础设施标准在建的，集材料原位生长、器件加工、测试分析为一体的材料领域重大科学装置，由中国科学院、江苏省、苏州市以及苏州工业园区共同投资建设。

概念

“纳米真空互联实验站”被称为是“国家科技的基础设施和科研平台”，“大科学装置”，是尖端技术创新的重要源头。

目标

筹建中的“纳米真空互联实验站”包括纳米材料生长、器件制备、加工与测试等各功能模块的真空互联装置及个性化用户站，计划形成一个独一无二的材料研究与器件研发环境，建成国际上首个真空互联的纳米科技公共实验平台，并在5到10年内产出一批带动产业深刻变革的重大研究成果，吸引和培养一批国际顶尖科研人员和工程技术人员，形成一批关键的核心技术、重大产品和尖端科学装备。按照目标计划，“纳米真空互联实验站”将依托中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，由中科院与江苏省、苏州市共同建设，首期投入约15亿元，建设规划用地约150亩，其中先行启动“室温超导和III-V族半导体激光器”、“3D打印”等分项，争取3年建成。

未来，纳米大科学装置将吸引一大批高端人才集聚苏州。借助该平台，将能有效研究前沿科学问题，发明新技术，开发新产品，创办新企业，使苏州成为全球纳米领域创新的高地、人才的高地和高端技术、产品及企业的发源地，有力推动苏州经济社会的发展和产业结构的优化升级。

定位

据介绍，“纳米真空互联实验站”定位于探索面向未来能源、信息领域的新型纳米器件，目标是建立一个真空环境下从材料、器件、封装到测试的综合研究设施，提供多种极端条件下材料、结构和性能关系的科学研究平台，挑战现有器件的物理极限、创新能源和信息领域核心器件的技术路线，旨在加深人们对物质世界微观本质的认识，引发纳米器件从基础科学研究到大规模产业发展的工业革命。

纳米真空互联实验站面向国家战略需求和科学前沿重大问题，开创一条变革性的技术路线，将材料生长、器件工艺、测试分析通过超高真空管道有机互联在一起，突破常规超洁净环境下，独立分散设备难以突破的材料本征特性、原子级精准调控、表/界面调控和异质集成、器件原位制造等局限，为国家战略材料和前沿材料领域研究提供重要建制化、体系化大科学装置的支撑。

合作

“纳米真空互联实验站”依托中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，由中科院与江苏省、苏州市共同建设，首期投入约15亿元，建设规划用地约150亩，纳米真空互联实验站包括纳米材料生长、器件制备、加工与测试等各功能模块的真空互联装置及个性化用户站，形成一个独一无二的材料研究与器件研发环境。

实验站建成后将申请纳入国家大科学装置体系，同时也将成为国际上首个真空互联的纳米科技公共实验平台，通过吸引和培养一批国际顶尖科研人员和工程技术人员，形成一批关键的核心技术、重大产品和尖端科学装备，产出一批带动产业深刻变革的重大研究成果，促进苏州市乃至江苏省加快产业转型、创新发展步伐。

建设历程

2014年4月开始，纳米真空互联实验站分两期建设。

2023年2月18日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站二期建设项目顺利通过总验收。目前近40台各种大型工艺设备通过203米长的超高真空管道互联，已建成材料制备与工艺、微观机理准原位分析、跨尺度性能测试、气氛可控和真空互联控制与对接系统等五大模块平台。

科研成就

自2019年试运行起，至2022年底，实验站累计开展合作课题651个，服务用户数量220多家，逐步建立了以苏州工业园区为中心，立足江苏省，辐射长三角地区，延伸海内外的用户科研服务体系。

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