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界面散射

由于沿表面层运动的载流子受到的不同于体内的附加散射

界面散射是指半导体载流子沿表面运动的表面迁移率总低于体内迁移率，这种由于沿表面层运动的载流子受到的不同于体内的附加散射，就称之为表面散射或例如表界面散射。

散射机制
界面散射机制比较复杂。例如是由于表面粗糙不平整引起的散射过程，这时表面不是一个平面而是像一个被弯曲了的薄片，因此当电子沿表面运动时将受到干扰，使迁移率降低。这种散射作用对薄的表面空间电荷层较明显，例如强反型层就属于这种情况。
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