辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

成立于2005年的实验室

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室成立于2005年，依托大连理工大学。实验室已建设成了由中科院院士、精密机械与微纳机械专家、大连理工大学王立鼎教授担任实验室主任，集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等于一体的研究机构，是东北三省微机电系统研发联合体的牵头单位和大连理工大学“211 工程”、“985工程”重点建设的实验室之一。在学科上，实验室建立了“微机电工程”和“精密仪器及机械”两个二级学科博士点。

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室依托“机械制造及其自动化”国家重点学科和“机械电子工程”辽宁省重点学科，以微型机械、微电子、光电子、纳米材料和微系统为研究重点，实现器件与系统的微型化和多功能化集成制造为目标，将实验室建设成为面向辽宁省基础工艺装备制造及信息、生物医学工程与化工产业，以微系统与微制造为特色的实验室。实验室有四个研究方向：生化微系统与精密仪器装备、微执行器和传感器、信息电子材料与器件以及纳米材料与器件。

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室现有教职工33人，教授15人，副教授/副研究员8人，讲师3人，实验技术人员7人。其中，中科院院士1人，国家杰出青年科学基金获得者2名，高校青年教师奖获得者1人，教育部跨（新）世纪优秀人才支持计划获得者3人，辽宁省高等学校优秀人才支持计划获得者1人、辽宁省新世纪百千万人才工程获得者6人，辽宁省高等学校优秀青年骨干教师1人。

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室具备950平方米的超净实验室（洁净度最高100级），有整套硅加工、LIGA加工和测试设备，多种精密机械特种加工设备及光学、机械测试仪器，主要设备有：

一、测试设备

半导体参数测试仪，表面轮廓仪（膜厚、应力、粗糙度等），扫描探针显微镜（AFM+STM），扫描电镜，Olympus倒置显微镜，显微立体拍照及测量系统，激光诱导荧光检测系统，Mahr电感测微仪，微力测试系统。

二、微加工工艺设备

氧化扩散炉，匀胶台，热板，曝光机，湿法腐蚀台，磁控射频溅射台，ICP，PECVD，MBE，MOCVD，真空蒸发台，精密电铸机，等离子去胶机，静电键合机，引线键合机，塑料微流控芯片自动成形与对准装配系统（热压机、键合机），半导体真空预处理器，快速硅片模具合金炉，晶体管自动控温管式炉，马弗炉，鼓风干燥箱，激光切割机，划片机，超声打孔机，去离子水系统，湿法工作台，石英管清洗机，超声清洗器。

三、精密齿轮加工及测量设备

齿轮磨床，超精密齿轮齿距误差测量仪，齿轮径向跳动检查仪，Mahr齿轮测量中心，双盘式渐开线检测仪，渐开线凸轮检测与加工装置。

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室获得中国机械工业科学技术二等奖2项，获得中国航空工业集团公司航空科学技术奖励二等奖1项。作为负责单位，承担国家支撑计划课题1项；国家973课题2项；国家863重大项目课题1项；国家自然科学基金重点项目1项；国家自然科学基金面上项目11项、青年基金9项。作为参加单位，承担国家支撑计划课题1项；国家973课题4项；国家自然科学基金重点项目2项；国家科技重大专项2项；军工项目4项。

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室目前在站博士后3人，在读博士、硕士研究生200余人，已经出站博士后3人，毕业博士、硕士研究生400余人。其中全国百优博士论文提名奖1人，辽宁省优秀博士论文1人、“上银优秀机械博士论文奖”金奖1人、硕士论文2人。

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室积极开展对外交流，加强与企业的产学研合作，目前已与国外、国内(包括台湾和香港)17个研究机构和企业建立了合作关系，举办多次国内、国际学术会议。对外交流与合作单位主要有：美国明尼苏达大学MEMS研究所、英国克兰菲尔德大学微系统与纳米技术中心、台湾成功大学机械工程系、香港科技大学微系统研究所和电子系、清华大学摩擦学国家重点实验室、中南大学高性能复杂制造国家重点实验室、浙江大学微分析系统研究所、中科院上海微系统与信息技术研究所、中航工业西安飞行自动控制研究所、生物芯片北京国家工程中心（北京博奥生物有限责任公司）等。

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